10927:ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプ(Turbo Molecular Pump; TMP)は、内部の金属の羽根が空気分子を弾き飛ばすことにより排気する真空ポンプである。

動作原理は扇風機と同じように、斜めに配置された羽根を高速回転(数万rpmに達する)させて気体分子を排気側へと押しやる。実際にはジェットエンジンの前部にある圧縮機のように、羽のたくさんある回転翼と固定翼を組み合わせて、逆流の防止と排気効率の向上を図っている。最高到達真空度は10^-7Pa(10^-10Torr)程度。

その原理から、全ての気体に同じ排気速度を持っており、希ガスも真空に引くことができる。動作圧力には制限があるため、普通はロータリーポンプを補助ポンプとして用い、1セットになっている。

ロータリーポンプや拡散ポンプと違って油を用いず、そのため油の交換なども必要無いため、良い真空が得られる手軽で便利なポンプである。

構造上、内部の羽根が歪むと、隣の羽根へ高速回転中に接触して一瞬で壊れてしまう。またターボ分子ポンプを設置する際には、固定を厳重にしておかねばならない。故障して急停止した時に大きなトルクがかかり、重いターボ分子ポンプが飛んで来てぶつかったことによる死亡事故も発生している。

en:Turbomolecular pump